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薄膜常见问题

2021-07-22 

本文摘要:薄膜疑难问题1.什么叫薄膜内应力,生长形变,焊接应力?

薄膜疑难问题1.什么叫薄膜内应力,生长形变,焊接应力?生长形变,焊接应力造成的缘故?内应力:在无外力作用的具有下,不会有于薄膜的给出横断面上,由横断面的一侧具有于横断面的另一侧的企业总面积的力。焊接应力:所说在变温状况下,因为无拘无束的薄膜的热涨冷缩效用而引起的薄膜内应力生长形变:就是指因为薄膜构造的非稳定性所导致的薄膜内应力,也称作本讨伐形变。2.薄膜生长方法的三种方式:(1)岛状生长方式(2)片层生长(3)岛状片层生长3.薄膜和衬底间的界面形状(1)平界面,在这里类界面上,化学物质从一种种类基因变异为另一种种类,界面两边的分子间隔为0.1-0.5nm。(2)组成化学物质的界面。

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在界面两边原子间相互作用力较强时,界面中间将再次出现化学变化并溶解化学物质。(3)铝合金的扩散界面。在界面两边原素间相互之间扩散,沉定组成铝合金的状况下,界面成份将展现梯度方向转变(4)机械设备形变面。在界面硬实程度小,界面原素并不再次出现明显扩散的状况下,界面两边的化学物质以其凸凹不平的表层相互之间形变。

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4.薄膜薄厚的测试标准关键有什么?等薄干预法(FET),等色干预法(FECO)等视角干预法(VAMFO)等角光源干预法(CARIS)椭偏仪法,表层表面粗糙度仪法,去除法,石英石晶振电路法。举例说明:椭偏仪法(运用的是化学物质界面针对各有不同光的偏振态光具有不一样的光源,反射面工作能力的特点,根据精确测量出有薄膜针对各有不同偏振光份量的透射系数之比求出带薄膜的薄厚。)更为多薄膜疑难问题大家将不断瞩目。

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